這款主動磁場屏蔽消磁系統是為電鏡等電子束儀器屏蔽磁場干擾而設計的磁場屏蔽和消磁裝置系統.用于為科學儀器裝置免收磁場干擾影響的環境.主動磁場屏蔽消磁系統在原有的磁場屏蔽室內增設主動磁場消磁儀器,為精密科學儀器提供磁場屏蔽環境。主動磁場屏蔽消磁系統應用
掃描電子顯微鏡SEM
透射電子顯微鏡TEM
聚焦粒子束FIB
質譜儀器MASS
電子束光刻系統EBL
掩膜檢測裝置設備
晶圓檢測系統
其它電子束EB儀器
干擾磁場無處不在,需要屏蔽消磁:直流磁場:靜磁場是指強度、方向基本不變的穩恒磁場。交流磁場:指強度、方向發生周期性變化的磁場。隨機磁場:由地鐵、汽車等通過時而產生的磁場 電氣設備?機器的運作/停止等引發的磁場 磁場的紊亂會對精密儀器的性能帶來不良影響受直流磁場的影響,圖像偏移不清;圖像紊亂,圖像消失不見;受交流磁場影響:圖像?有類似線條等出現


將同軸心的亥母霍茲線圈串聯并平行配置,可以將外部電流和線圈軸方向磁場發生的改變

主動磁場屏蔽消磁系統構成


主動磁場屏蔽消磁系統參數規格
| 特點 | X、Y、Z 三軸同時控制 |
| 帶有自動調整功能 | |
| 控制范圍 | ±5μT(2m四方筐型線圈的情況) |
| 控制頻率 | 直流~1 kHz |
| 衰減率 | 40-60 dB |
| 控制方式 | 直流磁場表值控制+各軸獨立反饋控制 |
主動磁場屏蔽消磁系統應用


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