AZ ® 300MIF 為2.38%TMAH(四甲基氫氧化銨)
AZ 400K MIC基于緩沖的KOH,通常以1:4稀釋度使用
AZ ® EBR溶劑
PGMEA = EBR溶劑(乙酸1-甲氧基-2-丙酯)
PGMEA為溶劑/稀釋劑幾乎所有AZ的® 和TI光致抗蝕劑,由于其低蒸汽壓力和它在顆粒形成抑制(進一步稀釋)抗蝕劑。另外,由于PGMEA的低蒸氣壓阻止了涂覆的抗蝕劑膜的進一步變薄,因此它通常用于去除邊緣的珠粒。
AZ ® 100去膠液
是基于溶劑和胺。用于光致抗蝕劑具有低位進攻鋁剝離。使用乙醇胺可降低危害。
低蒸發速率允許在高溫(80°C)下使用,高效率(每升> 3000個晶片)有助于節省成本。不用擔心鋁的侵蝕,甚至可以用水稀釋。
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