壓電雙晶片變形鏡采用Bimorph Mirrors技術工藝提供可變形反射鏡DM功能,廣泛用于激光光束像差控制和天文光學像差控制。
壓電雙晶片變形鏡規格標準
?基片材料可提供石英,玻璃或硅雙晶片
孔徑10-500 mm
?變形行程-高達40μm
?控制電極數量-1-128
?頻率范圍-高達5 KHz
?滯后-12%
?激光損傷閾值-玻璃激光為20J/cm2，TiS激光為3J/cm2
?反射膜-保護性鋁，保護性銀，金屬介質膜，多層介質膜（給定波長反射率ρ≥99%）等。
水冷型壓電雙晶片變形鏡：
?材料-銅、硅
?孔徑20-100 mm
?變形行程-高達15μm
?損傷閾值-CO2激光為10kW/cm2，玻璃激光為50kW/cm2
?控制電極數量-最多32個
?頻率范圍-高達4 KHz
?反射膜鍍膜：按客戶要求
每個壓電雙晶片變形鏡都配有控制單元的電子模塊，通過USB端口或ISA I/O卡與標準PC機相連。包括標準軟件。根據請求，主動壓電雙晶片變形鏡可通過傾斜校正器或傾斜保持架進行補充。
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