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微探針臺系統micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統,實現微操作和微測量功能。

微探針臺系統能夠把現有光學顯微鏡升級成高精度和高穩定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類的顯微鏡：

　　正置顯微鏡和倒置顯微鏡

　　探針臺

　　半導體檢測儀器

　　原子力顯微鏡

　　手套箱和各種環境箱

　　這款微探針臺系統非常適合較小的半導體器件的測試,可配備4個微操縱器模塊，可用于電控放大倍數的顯微鏡和XY樣品臺。

　　這款微探針臺系統可以根據應用要求進行晶圓測試配置，滿足亞微米尺度電學性能測試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤，提供制冷和加熱功能等集成方案。

微探針臺系統典型應用

　　電學微探針：測量半導體器件或晶圓的電學性能

　　材料測試：測試新材料的電學性能

　　微操縱：對微小器件進行微操作微操縱

微探針臺系統規格參數

　　顯微鏡部分

　　光學分辨率：約1.1um

　　放大倍數：2.8X~35.5X（物鏡10X)

　　工作距離：33.5mm

　　照明光源：同軸照明LED,光強可調

　　相機：1920x1200像素，USB3.0接口

　　焦距可調

　　樣品臺規格:手動XY位移臺,行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm

　　樣品尺寸：25.4mm 直徑

　　電學探針規格：

　　接口：4個BNC接口

　　電壓范圍：+/-100V

　　電流范圍：1pA~100mA

　　電阻：約為3.5V

　　探針臺模塊規格

　　自由度：4個獨立的自由度X,Y,Z,Qz

　　速度：2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)

　　運動范圍： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（Qz), 42度（Z)

　　定位分辨率：Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)

　　探針規格：0.02'' (0.51mm) shank直徑，針尖半徑5nm~10um