電解法
一、方法原理
用涂敷了磷酸的兩個電極(例如鉑或銠)形成一個電解池，在兩電極間施加一直流電壓，氣體的水分被池內作為吸濕劑的五氧化二磷膜層連續吸收，生成磷酸，并被點解為氫和氧，同時五氧化二磷得以再生，這時點解電流是水分含量的量度。
二、特點
1、價格便宜；
2、可用于測量強酸氣體，如氯氣；
3、精度低；
4、使用不方便；
5、測量時間長，耗氣量大。
露點法(鏡面法)
一、方法原理
1、術語說明
水分露點——在恒定的壓力下，氣體的水蒸氣達到飽和時的溫度。
2、方法原理
使被測氣體在恒定壓力下，以一定的流量通過露點儀測定室中拋光金屬面。改鏡面的溫度可認為地降低并可***的測量。當氣體中的水蒸氣隨著鏡面溫度的逐漸降低而達到飽和時，鏡面上開始出現露，此時所測量到的鏡面溫度即為露點。(由露點和氣體中水分含量的換算或查表，即可得到氣體中微量水分含量)。
二、特點
1、測量精度高；
2、功耗大，不能使用直流電工作；
氧化鋁電容法
一、方法原理
本方法采用氧化鋁作為濕敏元件，是電容法中早期產品，氧化鋁構成電容的電極，電容的值隨著吸收水份的多少而改變。
二、特點
1、易漂移，受環境濕度和溫度影響。
2、傳感器不能長期暴露在空氣中。
3、校驗周期短，平均每三個月校驗一次。
4、精度低，測量時間長。
5、成本低，價格便宜。
高分子膜電容法
一、方法原理
本方法采用高分子膜作為電容的電極，電容值的改變隨著電極之間水分的多少而改變，是氧化鋁型升級換代產品。
二、特點
1、精度高，測量速度快。
2、校驗周期長，平均兩年校驗一次。
