具有亞微米級超低速運行能力的線性平臺，
恒速運行，靜態精度，定位精度和高剛性，使得可以更換壓電平臺。
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平穩的操作和高的剛性使研究光學掃描（掃描）階段/零件加工/檢查/激光加工/生物相關設備成為可能。速度也很高，因此可以提高速度。
規格書
| 行程長度 | 毫米 | 20 |
|---|---|---|
| 舞臺頭 | 毫米 | 75 |
| 編碼器分辨率 | 微米 | 1，0.5，0.1，0.05，0.01，0.005 |
| 重復性 | COUNT個 | ±1 |
| 加速度 | 米/秒2 | 20 |
| 速度 | 米/秒 | 0.6 |
| 裝載量 | 公斤 | 10 |
| 運動部件質量 | 公斤 | 0.115 |
| 舞臺總質量 | 公斤 | 0.45 |
| 直線度/平面度 1 | 微米 | 2.5 / 25毫米 |
| 原點/限位開關 | 非接觸式磁簧開關 | |
| 原點開關位置 | 中心 | |
| 軸電機型號 | S040Q |
※1 ?誤差（μm）/每25mm移動
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