| 型號 | 精度級別 | 564S | 7106S |
| 示值誤差(um) | L | 3.5+L/300 | 4.5+L/250 |
| 探測誤差(um) | L | 4.5 | 4.5 |
| 外型尺寸(mm)LX×LY×LZ | L | 1050×14100×2220 | 1409×1940×2610 |
| 測量范圍(mm)DX×DY×DZ | 500×600×400 | 700×1000×600 | |
| 載荷(kg) | 500 | 700 |

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儀器特點技術參數應用案例型號精度級別564S7106S示值誤差(um)L3
| 型號 | 精度級別 | 564S | 7106S |
| 示值誤差(um) | L | 3.5+L/300 | 4.5+L/250 |
| 探測誤差(um) | L | 4.5 | 4.5 |
| 外型尺寸(mm)LX×LY×LZ | L | 1050×14100×2220 | 1409×1940×2610 |
| 測量范圍(mm)DX×DY×DZ | 500×600×400 | 700×1000×600 | |
| 載荷(kg) | 500 | 700 |

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