深圳凈化工程公司潔凈室無塵車間裝修工程打造-云峰凈化
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
潔凈室中的氣壓規(guī)定
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室的照度控制
潔凈室中的防靜電
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。分類
| 等級名稱 | 等級限值 | | | | | | | | | | |
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | | | | | | | |
| 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | | | | | | | |
| 國際單位 | 英制 單位 | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft |
| M1.0 | | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / |
| M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / |
| M2.0 | | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / |
| M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / |
| M3.0 | | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / |
| M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / |
| M4.0 | | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / |
| M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
| M5.0 | | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 |
| M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 |
| M6.0 | | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 |
| M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
| M7.0 | | / | / | / | / | / | / | | 283000 | 61800 | 1750 |
- GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級
| 等級 | 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數(shù) | 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數(shù) |
| 100 | 《35*100(<3.5> | |
| 1000 | 《35*1000(<35> | 《250(<0.25> |
| 10000 | 《35*10000(<350> | 《2500(<2.5> |
| 100000 | 《35*100000(<3500> | 《25000(<25> |





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