Kleindiek納米操縱儀是為外部電子顯微學制備樣品而設計的超精密樣品拾取裝卸系統,它在納米尺度靈活微操縱樣品。
Kleindiek納米操縱儀安裝
安裝有一根微夾鉗，一個四軸輔臺，在表面有一個允許快速接近的小型CCD攝像頭。Kleindiek納米操縱儀是由安裝在一個超小型平臺上的一個四軸輔臺構成。在輔臺上安裝了一個微夾鉗，促進提取。操作該輔臺將預切樣品放置在微夾鉗下。在這之后，微夾鉗夾住樣品并輕輕地固定住樣品，固定要足夠牢固，只要使輔臺向旁邊下落，就可以將樣品從大量材料提取出。一旦分離，在TEM網格上，將樣品與SEM兼容膠水接觸，并且用離子束固化。
Kleindiek納米操縱儀規格：
取樣室兼容平臺上的輔臺
樣品尺寸：30mm
行程：X和Y =10mm
行程：Z軸為3mm
行程：R =360°（無限）
速度：可達1mm/秒
分辨率 lt;0.5nm
笛卡爾運動
沒有反彈或翻轉
是大多數SEM和FIB工具的簡單取樣室裝置
幾乎不受震動影響
微夾鉗
運輸和組裝微型物體的高分辨率夾持器
抓握區域：（5至10 μm）
分辨率：20nm
夾持力：5至5000μN（變量）
跨度范圍：20?40 μm
SemCam
樣品表層的小相機
允許快速接近
包括顯示器和LED照明
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