這款菲索干涉儀 (Fizeau interferometer)是為光學鏡片平整度測量而研發的菲佐干涉儀,配套干涉儀軟件可處理帶有額外傾斜的干涉圖。
菲索干涉儀規格
?輸入孔徑：10~95mm（可選300mm）
?工作頻率：高達25Hz
?測量精度：0.032μm（P-V）
?測量像差的P-V值：高達5μm
?光源：二極管激光器
?光源波長：0.65μm
?成像：Firewire CCD相機
菲索干涉儀軟件功能
?允許處理真實圖像和另存為.bmp圖像
?該處理方法的精度約為λ/400
?結果以Zernike多項式系數、P-V和RMS值表示，并以2D和3D表示相位分布
為了獲得關于被測表面的信息，我們打算在x方向引入傾斜，并獲得8到60條干涉條紋，處理包括：
?干涉圖圖像注冊（或從.bmp文件加載）
?確定感興趣區域
?過濾。它允許排除假極值
?找到極限
?基于極值坐標的相位表示；通過Zernike多項式分解，P-V，RMS和PSF計算
菲索干涉儀軟件功能展示
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