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輔光精密儀器(上海)有限公司
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高分辨率晶圓厚度測試儀

產品二維碼
參  考  價:￥ 200
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號：FP-MX10
  • 品牌：
  • 產品類別：噪音計
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時間：2023-06-15 19:35:22
  • 瀏覽次數：12
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  • 經營模式：其他
  • 商鋪產品：1023條
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  • 聯系人：楊經理
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產品簡介

高分辨率晶圓厚度測試儀能夠高精度測量硅晶圓厚度和硅晶圓厚度變化,分辨率高達10nm,可滿足不同的晶圓厚度范圍

詳情介紹

　　高分辨率晶圓厚度測試儀能夠高精度測量硅晶圓厚度和硅晶圓厚度變化,分辨率高達10nm,可滿足不同的晶圓厚度范圍。

　　高分辨率晶圓厚度測試儀具有良好的自動校準功能，在掃描晶圓前，厚度測量計自動校準。型號：MX102-6規格特色(測量晶圓厚度和TTV厚度）

　　用戶可選擇多達四個厚度測量范圍

　　動態范圍100或350μm

　　可容納晶圓直徑4“、5"和6"

　　精度0.1μm

　　分辨率10nm

　　空間分辨率1mm

　　4次掃描

　　配套軟件MXNT型號：MX102-8規格特色(測量晶圓厚度和TTV厚度）

　　用戶可選擇多達四個厚度測量范圍

　　動態范圍100或350μm

　　可容納晶圓直徑6''或8"

　　精度0.1μm

　　分辨率10nm

　　空間分辨率1mm

　　4次掃描

　　配套軟件MXNT

　　型號：MX1012規格特色(測量晶圓厚度和TTV厚度）

　　用戶可選擇多達四個厚度測量范圍

　　動態范圍100或350μm

　　可容納晶圓直徑8"或12''

　　精度0.1μm

　　分辨率10nm

　　空間分辨率1mm

　　8次掃描

　　配套軟件MXNT

　　型號：MX1018規格特色(測量晶圓厚度和TTV厚度）

　　用戶可選擇多達四個厚度測量范圍

　　動態范圍100或350μm

　　可容納晶圓直徑300mm或450mm

　　精度0.3μm

　　分辨率10nm

　　空間分辨率1mm

　　8次掃描

　　配套軟件MXNT

　　高分辨率晶圓厚度測試儀規格

型號晶圓直徑[mm]
MX 102-6100, 125, 150
MX 102-8150, 200
MX 1012200, 300
MX 1018300, 450
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