清潔和干燥應(yīng)用的解決方案
普發(fā)真空多級(jí)羅茨泵為各種應(yīng)用和市場(chǎng)生成清潔和干燥的真空環(huán)境。
例如，小型 ACP 羅茨泵在粒子中形成渦輪分子泵所需的前級(jí)真空。具有高抽速和低最終壓力的大型 ACP 120 泵可用于冷凍干燥應(yīng)用。A 100 L 和 A 200 L 是用于裝載互鎖和傳輸室的緊湊型干式泵，專為集成到半導(dǎo)體系統(tǒng)或晶圓廠底層地板而開發(fā)。A3、ADH 和 A4多級(jí)羅茨泵在半導(dǎo)體和涂層行業(yè)中被大量用作流程泵。所有這些應(yīng)用都有一個(gè)共同點(diǎn)：它們均需要一個(gè)潔凈、干燥的真空環(huán)境。
在此，多級(jí)羅茨泵技術(shù)是的解決方案。其無摩擦工作泵送模塊在轉(zhuǎn)子和定子之間無需潤(rùn)滑劑和密封材料。所以，可以避免烴類蒸汽回流。在泵的吸入室，不處理任何密封材料。這意味著泵里沒有粒子，長(zhǎng)期可靠且穩(wěn)定，這將會(huì)帶來低擁有成本。
多級(jí)羅茨泵在潔凈工藝上的使用領(lǐng)域
ACP 系列的風(fēng)冷式羅茨多級(jí)泵低維護(hù)，性能穩(wěn)定，與眾不同。它們可用于工業(yè)或粒子應(yīng)用以及半導(dǎo)體生產(chǎn)的清潔工藝。
A 100 L 和 A 200 L 緊湊型羅茨泵因其較小的尺寸而可以輕松地集成到系統(tǒng)中。半導(dǎo)體的裝載互鎖與傳輸室是這種類型泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域。
ACP 120 系列帶有水冷卻的多級(jí)羅茨泵用堅(jiān)固的鑄造金屬制成。就像 ACG 600 系列羅茨泵站一樣，它們用于需要較高抽速的研究、開發(fā)、真空噴涂和冶金行業(yè)。
侵蝕性的應(yīng)用不成問題
A3P 至 A4XN 系列多級(jí)羅茨泵是為半導(dǎo)體和光伏生產(chǎn)的侵蝕性工藝而開發(fā)的，在此類應(yīng)用中，必須傳輸少量的腐蝕性氣體或冷凝物。A3P 和 A3XN 泵緊湊且高能效。低噪音開發(fā)和低振動(dòng)水平是該系列的突出特征。A4 系列多級(jí)羅茨泵的抽速可高達(dá) 3,000 m3/h，采用防腐材料制成。
媒介耐受性以及高氣體流通量使這些多級(jí)羅茨泵成為半導(dǎo)體行業(yè) CVD 工藝應(yīng)用的解決方案。ADH 系列專門為太陽能、半導(dǎo)體和 LED 市場(chǎng)的輕氣體和高流量應(yīng)用工藝而開發(fā)，N2 和 H2 的高性能抽速可達(dá) 600 至 4,500 m3/h。由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能提供增強(qiáng)的安全性。
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