Voegtlin質量流量控制器GSC-C9KA-DD12
集成解決方案與我們的模塊化氣阻系統
模塊化氣體收集系統，可輕松集成多個 MFC
PCU-10 PLUS氣體混合系統
此外，可根據要求提供基于PCU-10 的定制氣體混合系統
V?gtlin 的模塊化氣體收集系統可以將red-y smart 系列的多個數字流量計和流量控制器輕松集成到一個組合系統中。可提供帶或不帶止回閥的塊。
Voegtlin質量流量控制器GSC-C9KA-DD12
版本
帶 G?" 內螺紋的版本，鋁，密封材料 FKM
交貨包括。安裝螺釘、密封件和連接接頭 G?"（在出口處）
止回閥規格：流量 60 ln/min / 壓降 ?p 1.2 bar / 泄漏率（氦氣）< 1 x 10-6 mbar l/s
這些系統可作為自組裝套件或組裝/泄漏測試提供。
可選：用于出口的 G1/8" 內螺紋，密封材料 EPDM
氣體收集塊，超過 4 個通道，備件可應要求提供
Voegtlin質量流量控制器GSC-C9KA-DD12
| 性能數據 | |
|---|---|
| 介質（真實氣體校準） | 空氣 O2 N2、He、Ar、CO2、H2、CH4、C3H8（應要求提供其他氣體和氣體混合物）O2 和 N2 用空氣校準 |
| 響應時間 | 儀表 (GSM)：± 80ms 控制器 (GSC)：± 500ms 取決于設備配置和 SEMI 標準 E17-1011，優化條件下范圍的 5-99% |
| 重復性 | ± 0.2% 滿量程（根據 SEMI 標準 E56-0309） |
| 長期穩定性 | < 測量值的 1% / 年 |
| 電源供應 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc)，15 Vdc 應要求提供 |
| 電流消耗標準 | 儀表 (GSM)： 100毫安；控制器 (GSC) 250 mA （GSC 閥類型 8 490mA） |
| 電流消耗 Profinet RT / EtherCAT | 儀表 (GSM)： 125 毫安；控制器 (GSC) 340 mA （GSC 閥類型 8 560mA） |
| 操作壓力 | 0.2 – 11 bar a (3 – 160 psia) / GSC 閥門類型 4.5 和 8 max。8 bar (120 psia) |
| 溫度（環境/氣體） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
| 車身材料 | 陽極氧化鋁，可選不銹鋼電解拋光 |
| FKM、EPDM、可選FFKM | |
| 壓力敏感度 | < 0.2% / bar 讀數（典型 N2） |
| 溫度敏感性 | 每 1°C 0.025% FS 測量范圍類型 lt;0.012% 每 1°F） |
| 熱身時間 | < 1 秒。準確 |
| 集成與安裝 | |
| 輸出信號模擬 | 0-20 mA、4-20 mA、0-5 V、1-5 V、0-10 V、2-10 V |
| 輸出信號數字 | RS-485；Modbus RTU（從站）；LabView-VI 可用選項：Profibus DP-V0、DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| 過程連接 | G?"（BSPP 內螺紋）高達 60 ln/min (64 SLPM) G?"（BSPP 內螺紋）高達 450 ln/min (480 SLPM) 英國標準平行管道 |
| 入口部分 | 不需要 |
| 電氣連接 | Sub D 型插頭，9 極 |
| 安裝方向 | 任何位置（5 bar 以上或垂直安裝請咨詢制造商） |
| 安全 | |
| 測試壓力 | 16 巴 (240 磅/平方英寸) |
| 泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
| 入口防護等級 | IP50 |
| 電磁兼容 | EN 61326-1 |
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