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　　真空釬焊爐的真空儀表在有效期使用范圍之內(nèi)，經(jīng)檢漏儀檢漏，真空規(guī)管處的保護(hù)閥門存在漏氣問題，將該閥門進(jìn)行替換。

　　1、通過查看，羅茨泵轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)之間、轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的空隙在允許范圍內(nèi)，齒輪磨損十分小，不用替換，但軸承磨損嚴(yán)重，因而將該軸承進(jìn)行了替換。羅茨泵的軸頭密封圈漏油，將軸頭密封圈進(jìn)行了替換，并替換了羅茨泵兩端的潤滑油。羅茨泵維修完成后，進(jìn)行檢漏密封處不存在漏氣問題。測試羅茨泵的極限真空度可到達(dá)3×10-2Pa。

　　2、通過對(duì)真空釬焊爐的爐體及真空抽氣系統(tǒng)的外部檢漏，發(fā)現(xiàn)主閥閥桿密封、預(yù)抽閥、放氣閥、氣動(dòng)球閥和爐門密封都存在不同程度的漏氣現(xiàn)象。分解查看后發(fā)現(xiàn)主閥閥桿密封、爐門大圈密封圈嚴(yán)重老化，發(fā)生裂紋而存在漏氣問題，因而替換相應(yīng)的密封圈。替換主閥閥桿密封圈時(shí)，考慮到此處受高溫的影響，密封圈簡單老化，因而選用的材料是氟橡膠。

　　氟橡膠是十分好的耐高溫、耐各種介質(zhì)的密封材料，放氣量小，具有其他密封材料的性能，從而為此處的密封供給了必要的保證。同時(shí)發(fā)現(xiàn)預(yù)抽閥閥芯、放氣閥、氣動(dòng)球閥閥桿及閥芯的密封磨損得十分嚴(yán)重，因而將這三個(gè)閥門進(jìn)行了替換。

　　對(duì)熱電偶金屬封頭處檢漏時(shí)，由于測漏的反響時(shí)間比較長，如果熱電偶金屬封頭鄰近存在十分細(xì)小的漏氣點(diǎn)，因而特別簡單發(fā)生誤判斷。對(duì)此選用一種特別的辦法：先用塑料袋將偶絲密封處包起來，再將氦氣通入塑料袋中進(jìn)行檢漏。經(jīng)上述辦法的檢測，發(fā)現(xiàn)熱電偶自身密封處存在漏氣的問題，因而替換了新的熱電偶。