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氣體質(zhì)量流量控制器為什么要滿足一個工作壓差?
質(zhì)量流量控制器為什么要滿足一個壓差?很多客戶在使用質(zhì)量流量控制器(MFC)過程中發(fā)現(xiàn)總不能很好的達到控制流量效果,很多愿意都是沒有達到MFC自生的一個壓差,目前市場上一般MFC的壓差都在50-300Kpa,這個意思就是進口和出口的壓力差最小不能低于50Kpa,不能超過300Kpa,因為MFC自帶電磁比例閥原因,如果壓差太小,氣體壓力就根本不能把比例閥頂開,氣體壓力過大就讓比例閥不能很好進行控制。所以客戶在使用中先告知進、出口壓力,看看是否能滿足這個差壓50-300Kpa當(dāng)然有些客戶是有低壓差的需求,目前我公司的Amass/Dmass系列質(zhì)量流量控制器可以做到15Kpa,可以達到1.1MPa.如果還有更低的要求,請