氣體質量流量單位一般以sccm（StandardCubicCentimeterperMinute,每分鐘標準毫升）和slm（StandardLiterperMinute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為：氣壓—101325Pa(760mmHg);溫度—0℃(273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之處。
對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數,可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
需要注意的是,被質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位,不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位（Kg/min）,但是它符合國際半導體協會制定的SEMI國際標準。
