清除灰塵的方法很多，主要應依灰塵附著表面的狀況及其灰塵附著的程度而定。在干燥的空氣中，若灰塵較少或灰塵尚未受潮結成塊斑，可用干布拭擦，毛巾撣刷，軟毛刷刷等方法，清除一般儀器上的灰塵；對儀器內部的灰塵可用皮唧、洗耳球式打氣筒吹氣除塵，也可用吸塵器吸塵；對角、縫中的灰塵可將上述幾種方法結合起來除塵。不過對微量氧分析儀，用上述方法除塵也會損壞儀器，此時應采用特殊除塵工具除塵。
在空氣潮濕，灰塵已結成垢塊時，除塵應采用濕布拭擦，對角、縫中的灰垢可先用削尖的軟大條剔除，再用濕布試擦，但是對掉色表面、電器不宜用濕布拭擦。若灰垢不易拭擦干凈，可用沾有酒精的棉球進行拭擦，或進行清洗。
