氣體質量流量計具有精度高、壽命長、重復性好、流量量程寬、穩定可靠等特點。用測試氣體質量的方法對氣體進行流量測量，目前在國內處于 地位。
氣體質量流量計由氣流質量傳感器和數字顯示積算儀構成。
氣體質量流量計采用 微橋氣流質量傳感器和壓力傳感器。氣流質量傳感器是基于流過傳感器氣流質量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質量流量和氣體壓力同時轉換成模擬信號輸出。
數字顯示積算儀的作用是將氣流質量傳感器輸出的氣流質量模擬電信號經由單片機內部的A∕D轉換成數字信號。再經過運算處理，把氣體的質量流量轉換成相對應的標準狀態下的體積流量或標準狀態下的質量流量。又經數據處理運算，分別計算出即時流量和累計流量，送至四位和八位數碼管顯示。
數字顯示積算儀還可以將壓力傳感器輸出的氣體壓力模擬電信號經單片機進行A∕D轉化、運算處理氣體壓力值送至三位數碼管顯示出來。
另外，單片機可將相關運算處理的各種常數、系數及人工設置的即時流量的上、下限和壓力上、下限等數據信息存入單片機內的EEPROM中保存。單片機還可把累計流量值存入EEPROM存儲器中。以上這些數據信息，在停電后可自動保存，重新供電后，這些數據信息可自動恢復。
