1、SF6雜質中可水解氟化物主要是含硫低氟化物；其中SOF2、SF2、S2F2、SF4、SOF4等極易水解，故在通常吸收條件下它們可全部轉化為F-，而且由于這些物質的化學活潑性，它們極易與SF6新氣中的水分和氟氣反應生成HF、SO2和SO2F4等化合物，故大多難于在儲存一定時間的SF6新氣中存在。S2F10、S2F10O則一般不發生水解和堿解反應，因此可以認為，在SF6新氣中可水解氟化物的主要成分大多是化學性能比較穩定的SO2F2。
六氟化硫微水測試儀
2、西德一篇文章給出了在室溫條件下SO2F2與NaOH的反應方程式。
SO2F2+2NaOH→NaSO3F+NaF+H2O
文獻指出，氟磺酸的堿金屬鹽類十分穩定，一般是中性，難于發生如下的水解反應，NaSO3F+H2O==NaF+H2SO4，但是一般來說濃度低時則有利水解。
由于SO2F2的吸收效率主要受吸收液中堿濃度的影響，即主要取決于化學熱力學平衡因素，故不同濃度堿液可使測定結果產生三倍到七倍的差異。
3、比色法與離子電極法均可測定氟離子。比色法分析手續復雜，測定濃度范圍窄，顯色劑不穩定、易失效。離子選擇電極法簡單快速，標準曲線線性穩定，檢出范圍寬(10-1~5*10-7MF-)。但在測定SF.新氣時，有時兩種方法側定結果不盡相同，一般是電極法額定值偏高。這是由于新氣中SO2F2等雜質的存在而引起的差異。
