SF6氣體純度檢測方法主要有氣相色譜法、熱導法、激光法。
1、氣相色譜儀
氣相色譜是基本事件差別的分離技術。將汽化的混合物或氣體通過含有某種物質的管，基于管中物質對不同化學物保留性能不同而得到分離。這樣就是基于時間差別對化合物進行分離，樣品經過檢測器后，被記錄的色譜圖，每個峰代表混合物樣品中不同組分，峰出現的時間為保留時間，可惡意對每個組分進行定性，則峰的大小(峰高和峰面積)則是組分含量大小的度量。
(1) 檢測器。高靈敏度熱導檢測器(TCD)。
(2) 載氣。氦(氫)氣，流速為30~40mL/min。
(3) 分離柱。硅膠/葵二酸二異辛脂、GDX-104、Porapak-Q等，長度1~3m，Φ3mm。
(4) 進樣方式。六通閥定量進樣。
HDSP-502 SF6氣體純度分析儀
根據DL/T 920-2005《六氟化硫氣體中空氣、四氟化碳的氣相色譜法》采用氣相色譜法測定空氣、四氟化碳的含量。這里重點介紹空氣、四氟化碳含量的檢測。
SF6試樣通過色譜柱，使得空氣、四氟化碳分離，由熱導檢測器檢測并由記錄系統記錄色譜圖。根據標準樣品的保留值定性，用歸一化法計算有關組分的含量。
材料
(1) 載氣。氦氣或氫氣，純度不低于99.99%。
(2) 色譜柱。對所檢測組分的分離度應滿足定量分析的要求。常用的色譜柱為長2m，內徑3mm的不銹鋼鋼管，內填60~80目的GDX-104擔體(或合適的其他色譜定相)。
(3) 標準氣體。應由國家計量部門的單位所配置的單一組分氣體、多組分混合氣體且具有組分含量檢驗合格證并在有效使用期。各組分的質量百分數應大于相應未知組分濃度的50%，或小于未知組分濃度的300%。
2、熱導檢測法
熱導檢測原理是利用不同物質的熱傳導系數(即導熱能力)的不同進行氣體濃度檢測的。當氣體流經熱導池時，帶走內部熱電阻的熱能力，使其阻值發生變化。不同氣體導熱能力的差別，使與之配合的電路將檢測到不同的電信號，進一步得到氣體濃度。
3、激光法
根據每種氣體對固定波長的激光有較強的吸收，通過測量光強的減弱量來測量氣體含量。其吸收關系服從朗伯-比爾吸收定律。
