由于SF6是易于生成有毒有害物質的硫和氟這兩個元素組成，而且在SF6分子中氟原子多達六個。在加上曾發生過與SF6使用有關的中毒事故，因此在不熟悉者當中存在一種當然的疑問，擔心甚至誤認為SF6本身就是個有毒有害的物質。為此國內外均做過大量生物染毒試驗，并采用了十分苛刻的條件，即把SF6取代空氣的氮氣，用79%的SF6和21%的氧氣混合后，通入動物染毒缸。用其白老鼠在其中暴露24小時，然后再在空氣中放置觀察72小時，結果動物均未出現中毒癥狀。能通過上述試驗的物質，衛生學上稱無害物質，藥理學上稱非活性氣體。
SF6氣體檢漏儀
此外SF6可在醫學上作人工氣胸時使用，這也可以做它無毒無害的一個佐證。
國際上將有毒物質分劇毒、高毒、中等毒性、低毒、基本無毒、實際無毒六級，并規定有相應對應標準。
如上所述，目前SF6氣體無毒無害，可安全使用。僅僅提出，由于SF6氣體比重五倍而且容易液化，因此有可能造成SF6在低凹處滯留而引起局部缺氧活在密封容器中充氣過量的問題，對此應予以注意。
美國1997年規定工作現場空氣中SF6允許溶度為1000ppm。
