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現(xiàn)以SF₆除因其比重大(約為空氣的5倍)，可以在下部空間積聚引起缺氧窒息外，其純氣是無毒無公害的。但是在其生產(chǎn)過程中或者在高能因子例如高溫、高能粒子的作用下，則會分解產(chǎn)生若干有毒有害、甚至劇毒、強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)，而且體系中的某些共存物質(zhì)例如、水分、空氣(氧)、電極材料、設(shè)備材料等，均會導(dǎo)致上述過程的復(fù)雜化，致使分解產(chǎn)物的數(shù)量和種類明顯增加，其危害自然也顯著增大。

SF₆氣體雜質(zhì)的危害主要表現(xiàn)在某些酸性物質(zhì)特別是HF、SO₂等引起設(shè)備材質(zhì)的腐蝕；某些雜質(zhì)特別是在水分的存在，在一定條件下可能導(dǎo)致電器性能劣化，甚至造成嚴(yán)重設(shè)備事故，例如美國VEP公司500KV系統(tǒng)中SF₆中存在的諸如SF₄、SOF₂、SF₂、SO₂F₂、HF等均為毒性和腐蝕性的化合物，對人體危害極大，S₂F₁₀則屬劇毒物質(zhì)，其空氣中***高容許濃度為0.025ppm。我國也曾發(fā)生過因上述物質(zhì)引起的惡性人身事故。此外，還應(yīng)指出，我國科學(xué)工作者近年來發(fā)現(xiàn)在SF6氣體產(chǎn)品中經(jīng)常含有S₂F₁₀O，有時其含量甚至達(dá)數(shù)百ppm，盡管目前對其有毒有害性尚未能確認(rèn)，但值得引起注意。

SF₆氣體微水測試儀

有鑒于此，對SF₆氣體施行嚴(yán)格的質(zhì)量監(jiān)測與安全管理是***設(shè)備***運(yùn)行和人身健康安全的重要***。為此國際電工委員會(IEC)與1971年和1974年頒布了SF₆氣體質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)和對新SF₆新氣和經(jīng)電弧作用后的標(biāo)準(zhǔn)分析方法；我國于1982年5月公布了《六氟化硫氣體技術(shù)條件》，此外國外許多SF6氣體重要生產(chǎn)廠家均制定了各自的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，以此作為市場競爭的重要依托。

為了監(jiān)督檢驗SF6中的雜?**櫸趾禿浚?**建立起準(zhǔn)確***的分析檢測方法和技術(shù)，此乃是實現(xiàn)SF₆氣體質(zhì)量控制的技術(shù)基礎(chǔ)的前提。在該領(lǐng)域國外自七十年代以來有若干文獻(xiàn)發(fā)表。我國已發(fā)表綜術(shù)文章。北京市勞動保護(hù)科學(xué)研究所自1978年以來進(jìn)行了SF₆氣體質(zhì)量分析檢測技術(shù)的綜合研究和開發(fā)工作，并編輯了該領(lǐng)域的重要文獻(xiàn)資料。

SF₆氣體使用安全***的另一重要環(huán)節(jié)是建立、健全系統(tǒng)的氣體質(zhì)量管理體制。它包括各類條例、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程的制定實施，各級質(zhì)量檢驗機(jī)構(gòu)的建立，各級負(fù)責(zé)人和實驗操作人員的技術(shù)培訓(xùn)等內(nèi)容。只要能緊緊抓住技術(shù)和管理這兩個基本環(huán)節(jié)，SF₆氣體的安全使用和電氣設(shè)備的安全運(yùn)行是可以得到******的。