在我國，越來越多不同電壓等級的電氣設備采用SF6氣體絕緣，電氣設備中SF6氣體成分主要由SF6生產過程中混入的氣體雜質及SF6在電氣設備經電暈、火花和放電分解產生的各種有毒、腐蝕性氣體與固體分解產物。大致包含以下成分：空氣(O2,N2)、水分(H2O)、礦物油、氟化亞硫酰(SOF2)、氟化硫酰(SO2F2)、四氟化硫(SF4)、四氟化硫酰(SOF4)、二氧化硫(SO2)、十氟化二硫(S2F10)、一氧十氟化二硫(S2F100)、*(HF)、二硫化碳(CS2)、氟化銅(CuF2)、二氟二甲基硅及三氟化鋁(A1F3)等。
SF6分解產物測試儀
運行設備中的SF6氣體當溫度超過500℃后，才會開始分解。對于正常運行的SF6電氣設備，其非電弧室中一般沒有分解產物，即使在有電弧的斷路器室、也因其分合速度快，又有良好的滅弧功能，再加上SF6的高復合性(復合率達99.8%以上)，所以，不會有明顯的分解產物；對于故障的SF6電氣設備，則會因為故障區域的高電弧放電及高溫產生的大量的分解物，因此SF6分解物含量的測量對于預防可能產生的SF6故障及快速判斷SF6故障部位有很大的幫助。
