a.重量法:
重址法在國際電工委員會IEC -376號文件中列為仲裁法，因此，國內外在制訂標準時，都把它列為墓準方法。為了誰確的測定SF6氣體中微量水分，各氣體使用和生產部門均應建立此方法.方法原理是，根據濕度的大小采集30-50升SF6氣體(在含量相當低的情況下，采氣址可增到50-100升)，通過穎拉狀無水高氯酸鎂(或五敏化二礴)吸收系統，定是的把水燕汽吸收下來，然后梢確稱其重盆的變化。通過計算得出結果。此方法準確，操作嚴密，但繁瑣，耗氣量大是此方法的缺點。
HDWS-II SF6微水測試儀
b.庫侖電解法
庫侖電解法是國際電工委員會IEC-376號文件中列為日常分析方法而推薦的。在我國很多單位都有此種原理的分析儀器，應用比較普遍。此方法原理是:SF6氣體通過一個電解池，把吸收下來的水分進行電解，電解電流經過儀表或數字反應出含水盆(因為電解1 ppm 水分得電解電流13.4微安).電解池是由兩根平行自金絲作電極，裝在玻璃或聚四氛乙烯管 (棒〕內(外)壁，在壁上涂以五氧化二磷吸收劑，當氣體通過時，定址的把水分吸收下來，并進行定生的電解(圖5-13表示此電解池的潔構)。反應式如下:
此電解電流是嚴格遵守法拉第庫侖定律，根據公式就可以計算出來。為了計***方便，便于儀表的制作，已把流量、溫度和壓力等等兒個參數加以固定，所以當通以規定的流量時，便可以知道含水量了。此方法在測定SF6氣體時干擾因素少，數據重復，準確度高、操作簡單，尤其在測定低含水址時更顯示它的*性。
但此方法***大的缺點是電解效率。一般來說新裝上的電解池電解效率可達到98%以上，隨著使用時間延長，電解效率慢慢下降。這是因為每次在測量時，一啟動管路里含水全相當高，常常超過幾千個ppm,p2o5薄膜又很薄，在電解過程中產生大全H2和O2逐漸的把P2O5薄膜破壞，形成不均勻的堆積物，使薄膜局部變厚，另一個原因是，SF6氣體里含有幾個到幾十個ppm的礦物油，當氣體通過電解池時，也都被吸收下來附著在電解池的表面，第三個原因是在使用過程中有時長期的使用極千燥的氣體吹洗，以致造成電解池越來越千，使電解池內壁涂膜都由HPO3轉變為P2O5粉末，隨著氣流的吹洗而吹掉，第四個原因是氣體中含有與P2O5反應的其他雜質氣體。上述兒個原因都造成電解池吸收與電解兩個過程效率的降低，直到***后不能使用為止。一般情況下，電解效率低于85%以下，就不能使用了。所以這類儀器，在使用過程中定期進行校驗是必要的。
電解池的電解效率如何判別呢?一種簡單的辦法是采用流量調節法，就是把流量由100 MI/min調節到50m1/min，所得到的濕度應該降低一半，***大相對偏差為10%，如果大于 10%，說明電解池效率降低了，需要重新更換。但是在實驗使用過程中，***好、***穩妥的辦法還是用一種墓準方法進行校驗，便于考察電解池實際工作效率。
這類儀器的效驗各國情況不一樣，日本制定工業標準時采用重盆法或商用標準氣校正法。愛爾蘭國采用飽和水燕汽稀釋法。當然用其他標準方法也可以，但精度***要好一些，經過校驗后的儀表用一個校正系數E加以修正。其校驗公式如下:
在一般情況下是由干電解效率下降而造成數據偏低，所以引人校正系數E加以修正是必要的。用這種方法同樣能使儀表工作狀態調整到原來的測量范圍，使側定結果比較符合于實際情況。
c.露點法
露點法在國際電工委員會IEC-376號文件及補充文件之二中作介紹，在我國使用也是比較廣泛的。此方法原理是用液氮或用其他方法作致冷源，使淵量系統中金屬鏡面的溫度不斷降低，當氣體中的水燕汽隨著鏡面溫度的逐漸降低而到飽和時，鏡面上開始出現露，這時鏡面溫度就為琳點。通過光電測址系統把電信號經放大輸出，山儀表或數字顯示指示樣點值。再根據露點位確定SF6氣體的濕度。此方法下限可到-80°C左右，精變為士(1--3°C )。測量過程中要淚耗大量冷源給交通不便之處帶來麻煩，另外，當SF6氣體中含油量或十氟展化物等雜質較多時，往往會引起測址誤差，這可以從觀察鏡中看到結露時，有彩色或一層很厚的白霜，就表明SF6氣體中含油量或其他雜質過多所致。這時淵量結果表示SF6氣體中水、礦物油及其他化合物的凝聚量，不能分清單一的物質了。
d.氧化鋁故感元件濕度儀(6.7.8.9)
氧化鋁敏感元件是屬于電抗式敏感元件一類，在國外也有稱露點儀的。它的濕度是以礴點或PPm形式表示出來，但在原理上與上述露點儀不同。目前在SF6氣體生產廠或使用現場多數是從國外進口的，是一種常見的分析儀器。儀器的核心元件是一小塊鋁片
其表而是薄薄的一層多孔氧化鋁，再在氧化鋁表面上噴涂一層金，金膜與鋁片構成了兩個電極。當SF6氣體通過時，多孔氧化鋁層就吸附了水蒸汽，使兩極間電抗(圖5-15 濕敏元件電抗等效線路)發生了改變，其改變量與水蒸汽濃度成一定關系，經過標定后即可定量使用。
這類儀器操作簡單、使用方便、數據準確、抗千擾、響應快。但是，在使用過程中，由于礦物油的污染，撼化物及硫化物(如HF, SO2, SF4, H2S03等)的腐蝕，使探頭工作性能逐漸發生變化，這種變化程度與SF6氣體純度有關，一般半年到一年要校正一次。再者，這種探頭就是保存著不用，它本身也要自行衰變，同樣需要校正，才能***數據的準確。
HDSP-502 SF6氣體純度分析儀
e.其他方法
其他分析方法，如電壓石英晶體振蕩法、吸附量熱法、氣相色譜法(色譜儀)、卡爾。菲歇爾試劑滴定法(即容址法)都可以測定濕度，文獻報道也比較多。這些儀器有的價格昂貴，有的操作麻煩，目前在高壓電器領域中還未能廣泛的推廣使用。
