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SF₆微水的檢測屬于低濕測量，傳統(tǒng)的濕度傳感器不能測量或反應不夠靈敏，線性度差。木系統(tǒng)設 計使用***新聚酸亞胺等高分子樹脂材料做成的薄膜 電容式濕度傳感器，該電容式傳感器電容位隨周圍 環(huán)境相對濕度(RH)大小成比例的吸收或釋放水分， 進而使其介電常數(shù)發(fā)生變化。這種傳感器以物理吸 附為主，可在1%-*** RH范圍內(nèi)，以該傳 感器為荃礎設計的微水檢測儀以Atmega128單片機 為核心，包括:標準氣體濕度監(jiān)測、SF₆氣體濕度監(jiān)測、內(nèi)部溫度監(jiān)測、環(huán)境溫度監(jiān)測、LCD顯示和通信 接口等幾個組成部分，結構框圖如圖1所示。

圖中的標準氣體為露點小于一65℃的 密閉純凈氮氣，它與待檢SF₆氣體壓力、溫度相同，但其濕度可認為 不發(fā)生變化，這樣利用2種氣體中傳感器產(chǎn) 生信號的差頻可以摒 棄溫度、壓力變化的影響，得到只與濕度有關的信一號頻率;C/f轉換是將傳感器的電容信一號轉換 為頻率信號,2路信號分別由單片機定時器測頻;溫 度測量部分主要測量氣體溫度和環(huán)境溫度，其主要目 的是對系統(tǒng)硬件電路的輸出偏移溫度補償和濕度傳 感器漂移溫度補償。共體補償辦法在文獻中有 詳細介紹.

HDWS-242 微機型SF₆微水測量儀

在檢測儀實際工作時，分別用相同的濕度傳 感器測量SF₆氣體和標準氣體的濕度，通過相同的 C/f轉換電路處理后由單片機檢測2頻率信號;經(jīng) 軟件處理得到差頻信號，并利用差頻信號與內(nèi)存中 的數(shù)據(jù)庫匹配，求取當前檢測氣體露點溫度。數(shù)據(jù)處 理過程如圖2所示，其中的濕度轉換是根據(jù)維護人員習慣，將露點溫度轉換為更為直觀的形式，如體積濃度值、相對濕度等。

SF₆微水測試儀為單一直流 24V供電，本地實時顯示測員結果，也口廠通過RS-485 /CAN 通信接口與主控室連接形成監(jiān)測系統(tǒng)。測試儀的安裝十分簡單，方便，將SF₆測試儀的標準接口與SF₆斷路器的充氣口直接連接即可。充氣時可以將充氣接頭直接與測試儀另一側接 口連接。該測試儀經(jīng)中國電力測試標定，適用于當前SF₆斷路器的低濕測試。