HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機
HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機簡介：
HMDS涂膠烤箱的主要作用是對晶圓做表面處理，以增加光阻在晶圓表面的附著力。當晶圓送到黃光區時，表面可能有含水層，高溫烘烤后去除水氣，同時經過HMDS制程改變晶圓表面從極性到非極性，將晶圓表面的表面能被調整到與光阻表面相當的程度，從而使光阻可以很好的附著在晶圓表面。
首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。
HMDS涂膠烤箱，MES接口hmds涂布機特點：
1.HMDS是氣相涂布在硅片表面，也就是硅片在高溫環境HMDS的蒸汽中放置；
2.在顯影過程中無需去除硅片表面的HMDS層；
3.在HMDS上面滴光刻膠甩涂時，光刻膠內的溶劑不會破壞HMDS層；
4.多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道；
5.所有制程都在密閉的腔體內完成，操做是不會接觸到HMDS蒸汽；
6.可保存多個產品制程，制程工藝一鍵完成，無需值守人員。
7.MES智能系統 7.1 MES接口,可連接MES系統 7.2 管理生產單元有關的記錄和表格，包括工作指令、配方、工程圖紙、標準工藝規程、零件的數控加工程序、批量加工記
錄、工程更改通知以及班次間的通訊記錄，并提供了按計劃編輯信息的功能。 7.3 能通過數據采集接口來獲取生產單元的記錄和表格上填寫的各種作業生產數據和參數。 7.4 提供工件在任一時刻的位置和狀態信息。其狀態信息可包括：進行該工作的人員信息；按供應商劃分的組成物料、產品
批號、序列號、當前生產情況、警告、返工或與產品相關的其它異常信息。 7.5 以作業、訂單、批量、成批和工作單等形式管理生產單元間工作的流動。
HMDS涂膠烤箱技術指標：
1.設備型號： JS-HMDS90（AI）
2.工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸： 根據內腔尺寸變化
4. 材質：外箱采用優質冷軋板噴塑或不銹鋼，內箱采用316L醫用級不銹鋼
5. 溫度范圍 ：RT+10-250℃
6. 溫度分辨率 ：0.1℃
7. 溫度波動度： ≤±0.5
8. 真空度： ≤133pa（1torr）
9. 潔凈度 ：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
10.電源及總功率 ： AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.0KW
11. 重量： 約180KG
12. 控制儀表 ：人機界面
13.擱板層數 ：2層
14. HMDS控制 ：可控制HMDS藥夜添加量
15.真空泵：旋片式油泵或干泵
16. 保護裝置 HMDS藥液泄漏報警裝置，HMDS自動添加，超溫保護，漏電保護，過熱保護等
