毒性雜質
某些可能存在于新六氟化硫中的雜質是強毒性的，因為濃度很小，以致于不能很快 地用分析方法測定。對毒性雜質進行試臉的生物學方法在22條中已給出，符合本推薦標淮的 SF6***滿足本標準的試驗要求。
HDFJ-501 SF6分解產物測試儀
注:***六氟化硫氣體能符合弓性要求，對使用者來說，這一點是很重要的。
影響設備安全的雜質
有好多種雜質，無論是它單獨存在或者是幾種雜質聯合存在時，它們的含量***被限制 到對采用六氟化硫氣體絕緣的電氣設備的運行沒有危害。例如水，酸性雜質和氧(特別是其 互相結合)會促進腐蝕作用，導致機械功能失效，水和任何酸性雜質結合時，在低運行溫度和高工作壓力下會發生凝聚作用，而對設備的電氣安全帶來威脅。因此這類雜質的含量***小到使其腐蝕作用或凝聚作用不明顯。可以用微水測量儀,與色譜儀檢測SF6中的雜質。
稀釋六氟化硫的雜質在工業生產的六氟化硫氣體中，也會存在一些對電氣設備沒有任何特殊危害的物質，但 是，這也是不希望有的，因為它們不僅稀釋了較有效的六氟化硫，而且在某種情況下，它們 能給以后的處理過程帶來困難。實際上空氣似乎是在這些雜質含量中被發現的的一種稀 釋劑。空氣含盤和氮、氧含量是借助于與四氟化碳一起被測定的，氧和氮因制 造過程不一，也未必和存在于大氣中時其有同樣的比例。
HDFJ-505 雙通道SF6分解產物檢測儀
與電氣強度有關的雜質
雜質對六氟化硫的電氣強度的影響是很小的，以致于符合本推薦標準的SF6氣體中的雜質對電氣強度的影響可能檢測不出來。
與氣味有關的雜質
在新六氟化硫氣體中可能存在一些雜質，這些雜質(主要是酸性雜質)有氣味，但是對 子正常人能分辯出來的任何氣味來說，符合本推薦標準的六氟化硫氣體中的這類雜質的含量不是十分大的。
注意:氣體不應該被吸入人體，除非已經知道該種氣體是符合毒性要求的。
