SF6中水的分子是一種強極性物質，它在空氣中含量非常豐富，所以要分析得很準確，不是一 件容易的事。一般來說，無論是那種水分儀，只要是新投入使用的或者使用過一段時間的， 都***進行校驗，以便考驗儀器的***程度和測量范圍，免于發生誤判。
HDWS-II SF6微水測試儀
微水測量儀的校正方法是很多的，如果流量要求大些的，可采用雙壓法和變溫飽和法, 這兩種設備造價很高，體積笨重，有條件的當然可以使用。如果準確度要求高些的可采用重 量法，此方法比較麻煩、耗時、耗氣址大。除此之外，比較常見的校正方法如下:
a.參透管法:
滲透管作為濕度的標準方法是國內外很多專家所推薦的，此方法準確***，使用方便， 目前已被普遍使用。它的原理是把潔凈的水裝在聚四氟乙烯或聚三氟氯乙烯管里，兩端密 封，用重量法標定滲透率。使用時把此管放人準確度比較高的恒溫槽內，管內的水分就通過管壁向外滲透，只要確定溫度，水分向外滲透速度也就恒定了。一但溫度改變，滲透速度也 隨之改變，這樣就可以得到一系列不同濃度的標準水蒸汽。當干氣通過時，就把滲透出來的 水蒸汽帶走，供儀器標定使用。此方法中國在1982年邊過鑒定。
b.濕度校驗系統
濕度校驗系統(Hygrometer field Calibration system)是愛 爾蘭Panametrics公司推薦的校 驗方法，產品共有兩種(1IGio , NMG10i型)圖5-17表示了中之 一的流程圖。它的原理是在一定溫 度下，氣體通過飽和水蒸氣瓶出 來，水汽是飽和的，然后用干氣稀釋。改變兩路氣的比例，就可得到 一系列濃度的恒水源。濃度范圍在 1一23000ppm(V)，稍度為0.5°C 露點(約10%)，因此，用它來標 定儀器也是很理想的方法。
