由于SF6的物理化學穩定性好，而負電性很強(僅次于氛氣)。因此，大多利用sf6的負電性強的特性制成各種各樣高靈敏度的檢側儀器。盡管儀器所利用的原理不盡相同，其應用的特性卻大多是相似的。但另一方而，很多物質都幾有不同程度的負電性，故此，所制成的儀器抗力較差，不能做定性分析。而在單一氣認中(SF6檢測場所大多具備這種條件)，儀器的靈敏度和穩定性都很好，并可作定一***分析校測，對SF6電器設備的查漏檢測工作是勝任的，目前各家廠家和用戶使用的多屬此類儀器。
HDWG-II 高精度便攜式SF6定量檢漏儀
為***設備運行正常和操作人員的安全，有關規定需進行定期例行檢測工作，對車間現場的檢測，對設備的查漏檢測等。如設備運行值斑時，當發現表壓在相鄰兩次數據的差值為 0.1-0.3Kg/cm2(經溫度換算)時，應分析原因，井喪測所屬區的設備泄漏情況。當控制柜發出補氣報譽信號時，說明該系統存在泄漏隱患，應采取必要的擠施和查找漏位。
在SF6電器設備的車間里裝有專用監測報共儀，可隨時指出車間內空氣中SF6的含量，若空氣中SF6含量超過儀器調定的指標時就會發出報帶，以引起工作人員關注。
有些在車間里喂養一些小動物(如小白鼠，小鳥等)，觀察動物的生活狀況來間接觀測SF6的泄漏情況。采用這種辦注時，倘若由千管理、喂養不祥或疾病、死亡等，會引起慌亂，形成信息可信程度不***,顯然，這種做法不夠理想。
在維修和事故處理時，SF6檢側儀更是的儀器。
維修時必然要對SF6，進行倒灌和充裝等，在操作過程中要經常監督SF6的泄漏情況。如現場環境里的允許安全指標、導管連接是否有漏等。
HDQH-55 SF6氣體回收充氣凈化裝置
事故處理時亦需要玉奮測現場SF6的泄漏、暴游濃度及SF6氣體的擴散情況等，以此指導 .人們采取安全擠施和通風排氣，何時允許進入事故現場進行搶修工作和應使用何種防護用品等
