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由于SF₆氣體是由易于生成有毒有害物質的硫和氮這兩個元素姆成的，而且在SF₆分子中氟 原子多達六個。再加上曾發生過與SF₆使用有關的中毒事故，因此在不熟悉者當中存在一種 當然的疑問，擔心甚至誤認為SF₆本身就是個有毒有害物質。為此國內外均做過大量的生物 染毒試驗，井采用了十分苛刻的條件，即把SF₆取代空氣中的氮氣，79%的SF₆和21%的氧氣混合后，通入動物染毒缸。用五只白鼠在其中暴露24小時，然后再在新鮮空氣中放置觀 察72小時，結果動物均末出現中毒癥狀。能通過上述實驗的物質，衛生學上稱無毒物質，藥 理學上稱非活性氣體。

此外SF₆可在醫學上作人工氣胸時使用，這也可作為它無毒無害的一個佐證。 國際上將有毒物質分劇毒、高毒、中等毒性，低毒、基本無毒、實際無毒六級，并規定有相應確認標準。

HDWG-II 高精度便攜式SF₆定量檢漏儀

如上所述，目前SF₆氣體無毒無害，可安全使用。僅僅提出，由于SF₆氣體比空氣重五倍而且容易液化，因此有可能造成SF₆在低凹處滯留而引起局部缺氧或在密閉容器中充代過量的問題，需對SF₆氣體進行效驗檢漏，對此應予以注意。

美國1977年規定工作現場空氣中SF₆允許濃度為1000ppm。