北京空間機電研究所潘衛軍研究員課題組在《航天返回與遙感》期刊上發表了以“基于量子成像的下一代甚高靈敏度圖像傳感器技術”為主題的文章。潘衛軍研究員主要從事圖像傳感器設計與應用的研究工作。
這項研究圍繞具有單光子分辨能力的量子CMOS圖像傳感器這一新型甚高靈敏度圖像傳感器，從單光子探測的噪聲特性以及固態圖像傳感器的高靈敏技術機理出發，對實現甚高靈敏性能的關鍵技術進行了介紹；在此基礎上，詳細論述了量子CMOS圖像傳感器的技術發展歷史，并將量子CMOS圖像傳感器與其他主流單光子探測傳感器的性能進行了對比，總結分析了未來量子CMOS圖像傳感器技術的發展趨勢，最后針對不同的航天遙感應用需求，分析并展望了量子CMOS圖像傳感器的應用模式及應用特點。
在固態圖像傳感器領域，CMOS圖像傳感器技術的發展大致經歷了三次技術飛躍：次為無源像素到有源像素的發展；第二次為科學級CMOS圖像傳感器的發展；第三次是量子CMOS圖像傳感器的發展。量子CMOS圖像傳感器的關鍵技術主要有深亞飛法低浮置擴散（FD）電容技術、跨導變積分放大技術以及列級相關多采樣（CMS）技術等。
深亞飛法級小電容技術
量子CMOS圖像傳感器技術的重大突破，給高靈敏圖像傳感器在航天遙感應用領域中的應用格局帶來重大變化。因此，應當積極提前布局，一方面深入研究量子CMOS圖像傳感器的技術特點，另一方面，結合航天遙感應用的需求特點，在拓展應用領域、提升應用水平方面，尋求與量子CMOS圖像傳感器技術優勢的契合，實現我國航天光學遙感器技術水平的跨越式發展。
CMOS潔凈烘箱
CMOS潔凈烘箱，程控式潔凈箱特點
超潔凈H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100
采用液晶觸摸屏溫度控制器，內置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警
運行方式：定值、程式，中、英文操作。
CMOS潔凈烘箱，程控式潔凈箱技術規格：
1 .內腔尺寸
W450mm×D450mm×H450mm
W600mm×D600mm×H600mm
W500mm×D600mm×H700mm
W700mm×D800mm×H900mm
W1000mm×D1200mm×H1000mm
多尺寸定制
2 . 材質：外箱采用冷軋板噴塑，內箱采用SUS304不銹鋼
3.溫度范圍：RT+20-400℃，常用溫度≤350℃
4.溫度分辨率：0.1℃
5 .溫度波動度:＜±0.5℃
6. 溫度均勻度: ≤±1.5%℃
7.潔凈度:class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
百級潔凈烘箱用于半導體、電子元件高溫烘烤、銀膠烘烤、光刻膠固化，IC芯片制造預烘烤（軟烘）、堅膜烘烤（硬烘）、治具干燥、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等 ，醫療、電子、太陽能、新材料等行業.
