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雜質的主要來源

a.在SF₆氣體合成制備過程中所殘存的雜?**櫸幀?/span>

b.在SF₆加壓充裝，運輸過提中混入的雜質，如空氣、水份、機械油脂等。

c.SF₆在應用時受到大電流高電壓、高溫等外界因素的作用而產的分解產物，如 SOF2,SO2F2, HF等.

雜質的分類

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a.氟化硫的多種化合物，如SF₂,S₂F₂. SF₄, S₂F₁₀.

b.有碳、氧、氫等元素參加的硫、氟化合物，如SOF₂,SO₂F₄,以及多種全氟烴類。 C.其它組分，O₂, N₂, H₂O

雜質對人體的危容

在SF₆雜質中，有多種雜質對人體危害很大，其中HF, SO2, CS2. SF2 SF4。等均為有毒或劇毒物質。國內外對此類毒物的毒性基準、空氣中***高允許溶度都有嚴格的規定。它們對人體的危害主要是破壞提提粘膜組織(鼻,眼等)和呼吸系統，嚴重者可引起肺水腫，甚至造成急性中毒死亡。國內外均發生過因吸入上述某種氣體而引起的傷亡事故。此外HF, S02等物質還其有腐蝕作用。