農產品中微量元素的存在及對人體的影響早已為人們所認識，但許多儀器和方法局限于單一元素的檢測，多元素的同時測定一直是棘手問題，特別是近年來土壤、水、大氣中的污染物直接經農作物吸收進入人類食物，更引起科技工作者對有毒物質的關注。高靈敏地同時測定多種元素是XRF儀器的特點之一，因為X射線光譜的產生來自原子內層電子的躍遷，所以除輕元素外，X射線光譜基本上不受化學鍵的影響，定量分析中的基體吸收和元素間激發效應較易校準或克服，元素譜線的波長不隨原子序數呈周期性的變化，而是服從Moseley定律，因而譜線干擾現象比較少，有利于多元素的測定。用全反射X射線熒光光譜法同時測定了蔬菜中多種元素：P、S、Cl、K、Ca、Ti、Mn、Fe、Cu、Zn、Br、Rb和Sr，除Ni、Ti、Br和Cl外，變異系數低于10%，回收率為95-110%。用XRF方法測定了水果、蔬菜和谷物制品中鎂、磷、硫、氯、鉀、鈣、錳、鐵、銅和鋅的含量。檢出限為0.8-300ppm。
測定痕量的稀土元素，一直是化學分析領域內傳統的難題，其他儀器方法，如質譜同位素稀釋法、中子活化法為消除元素間干擾、提高分析的靈敏度，都必須把稀土元素相互分離出來，并且成本高、設備的專門化等都限制了它們的應用，用X射線熒光光譜分析法測定稀土元素，可進行這些性質類似的元素的同時測定。有文獻報道用XRF儀器高靈敏地檢測了稀土礦區生長的蔬菜中的十余種稀土元素的含量，實驗結果表明XRF方法用于農產品的微量元素檢測優于其他方法。
監測和控制農業環境污染、快速準確地分析農產品中的各種成分，是發展現代化農業的重要課題之一，農業樣品的測試離不開現代化的分析儀器。X射線熒光分析法的應用主要取決于儀器技術和理論方法的發展。X射線熒光光譜儀是一種部件多、功能復雜的分析儀器，整機系統涉及X射線光學、真空、機械、電子、核探測器、核電子學及計算機技術等學科和技術領域。近年來隨著激發源、色散方法、探測技術和計算機技術的改進，XRF儀器的應用范圍不斷擴大，儀器類型日益增多。減小體積、降低價格應是該類儀器的一個發展方向，開發新的應用軟件、使儀器適應于現場分析和快速分析的要求，XRF分析技術將獲得更為廣闊的發展空間。
