在線質譜儀不同部件出現問題有不同的針對方法
在線質譜儀的故障與處理
1、在線質譜儀內部泄漏
(1)內部的密封結構
當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。氦質譜檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側，位于隔熱板的上方。
①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，在線質譜儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。
②各電磁閥與閥門組件問的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時，有可能會存在密封失效的問題。
③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
在線質譜儀采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：
①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。
②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。
③儀器的反應時間小于1s，所以在一個部位噴吹的時間約3S，再等待約3S后觀測信號有無變化。
(3)處理方法
不同的密封部位出現泄漏采用不同的處理方法。
①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購買新品進行更換。
②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對密封圈進行更換，并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會影響儀器本底)等密封添加劑。
③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項同上。
④真空計的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環節在檢測時極易被忽視，此處若有漏可*行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購買新品進行更換。
以上便是今天關于在線質譜儀不同部件出現問題有不同的針對方法的全部分享了，希望對大家今后使用本設備能有幫助。
