技術(shù)貼：殘余氣體檢測質(zhì)譜儀的技術(shù)特點總結(jié)如下
質(zhì)譜分析法是利用不同離子在電場或者磁場中運動軌跡的不同，把離子按質(zhì)荷比分離而得到質(zhì)量圖譜，可以得到樣品的定性定量結(jié)果。質(zhì)譜儀按照常用的質(zhì)量分離器不同可分為掃描磁扇式磁場質(zhì)譜儀和四極質(zhì)譜儀，飛行時間質(zhì)譜儀等幾種類型。目前工業(yè)應(yīng)用上通常采用的是掃描磁扇式質(zhì)譜儀。四極質(zhì)譜儀的靈敏度高，適合實驗室或科學(xué)研究。掃描磁扇式的穩(wěn)定性和重復(fù)性較高，適合工業(yè)應(yīng)用。
不僅在一臺氣體分析儀器內(nèi)部具備一套化工工藝過程的同樣情況和條件，而且，有時在儀器前級的樣氣預(yù)處理部分（含取樣系統(tǒng)）也同樣是一套化工工藝過程。如遇到較復(fù)雜、較特殊的工藝技術(shù)條件的話，那么樣氣預(yù)處理系統(tǒng)所體現(xiàn)的化工過程還是非常復(fù)雜的，相當于一個小化工廠的凈化處理工藝過程。由此可見，氣體分析的過程就是在了解并掌握整個化工過程系統(tǒng)條件的前提下，嚴格控制各種影響測定條件的因素，從而得到工藝及管理人員所需要的準確數(shù)據(jù)。
殘余氣體檢測質(zhì)譜儀的技術(shù)特點
1)單人輕松攜帶，體積小巧
2)快速分析速度（每種氣體小于10毫秒）
3)可以用一臺儀器測量數(shù)百種氣體（同時測量多達64種氣體）
4)結(jié)構(gòu)緊湊牢固，適于在各種工業(yè)和野外現(xiàn)場條件使用
5)預(yù)熱時間超快，僅為30秒
6)可以測量從ppb到%的全部濃度范圍
7)多種進樣口和進樣方式可供選擇：毛細管氣體進樣，薄膜氣體和液體進樣
8)NIST譜庫自動檢索支持，用于未知樣品鑒定和分析
9)超快的進樣時間：毛細管采樣小于100毫秒，薄膜采樣小于1秒
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