藍寶石壓力傳感器原理與應用
用硅- 藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在的工作條件下正常工作,并且可靠性高,精度好,溫度誤差極小,性價比高.利用應變電阻式工作原理,采用硅- 藍寶石作為半導體敏感元件,具有的計量特性.藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發生滯后,疲勞和蠕變現象；藍寶石比硅要堅固,硬度更高,不怕形變,藍寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000 OC 以內),因此,利用硅- 藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍寶石的抗輻射特性;另外,硅- 藍寶石半導體敏感元件,無p-n漂移,因此,從根本上簡化了制造工藝,提高了重復性,確保了高成品率.印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上.被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起).在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被硅- 藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發生變化,變化的幅度與被測壓力成正比.傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,并將應變電橋的失衡信號轉換為統一的電信號輸出(0-5 ，4-20mA或0-5V).在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉換為應變片形變,表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成：鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片.從而達到壓力測量的目的.中能儀表公司渦街流量計,電磁流量計,渦輪流量計,孔板流量計,節流裝置,K型熱電偶,S型熱電偶,熱電阻,雙金屬溫度計,數顯表、壓力變送器,變送器。
