在材料分析試驗中我們經(jīng)常會用到掃描電鏡和金相顯微鏡，這兩種設備在使用中有何不同？金相顯微鏡是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學顯微鏡技術、光電轉(zhuǎn)換技術、計算機圖像處理技術地結合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品，可以在計算機上很方便地觀察金相圖像，從而對金相圖譜進行分析，評級等以及對圖片進行輸出、打印。
掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。
兩種顯微鏡存的區(qū)別，主要有以下幾方面：
一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
三、分辨率不同：金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。
四、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有的要求，所以其的制樣過程相對比較復雜。而掃描電鏡則有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構。
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