純水是指既將水中易去除的強電介質去除，又將水中難以除去的硅酸及二氧化碳等弱電解質去除至一定程度的水。純水的含鹽量在1.0mg/L以下,電導率小于50μs/cm。
超純水(高純水)是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水。高純水的含鹽量在0. 3mg/L以下,電導率小于0. 2μs/cm。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm
超純水被稱為強力的溶劑,由于的純水能夠溶解任何接觸到物質，因此它的純度是不可能保持的。由于超純水沒有任何緩沖能力（即在溶解其他物質的同時保持自身的pH值），因此最微小的污染也會改變它的pH值。同時純水是一種優良的絕緣體，因此在測量pH值的時候很難讓pH計的測量電極和參比電極之間導通。這樣在測量用的電極電路中產生的電阻，會使得測量的電信號噪聲變大，電極的反應變慢，并產生靜電雙電層（static buildup）。這種靜電雙電層在純水流經塑料管路時很常見。它產生的電場會使得測量得到的電阻比實際值要大。這樣測量得到的pH數值是錯誤的。
用正常測一般溶液的方法測試純水和超純水其結果可能很不理想，反應很慢，而且漂移很嚴重。 1.用一支適合作純水的PH電極應是首先考慮的，有一種測量超純水的特殊的電極，它接一個金屬的、接地的附件。通過接地，增大了整個電路的電容，從而降低了電信號噪聲。同時由于接地分流了電荷，使得測量信號的穩定時間增大，也在某種程度上降低了靜電雙電層的強度。電極的附件還包括凝膠裝填的參比電極或者流動的聯結點，這可以在測量pH值得時候快速的在連接點兩側建立電位平衡。流過聯結點的電解液偶爾會阻塞聯結點。將整個測量電路放置在配件旁邊，可以讓代測樣品的電荷釋放掉，從而保持測量電極承受的壓力穩定。這同樣能夠解決樣品被KCl電解液污染的問題。
