臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
為了控制臭氧污染，臭氧檢測儀成為臭氧檢測設備之一，用于對空氣中臭氧濃度的實時監測，臭氧檢測儀有便攜式臭氧檢測儀，在線式臭氧檢測儀、手提式臭氧分析儀等等。那么臭氧檢測儀的維護工作是有幾步呢？
一、臭氧檢測儀外表擦拭步驟：先用干細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油污等，小心 注意其儀器外表勿受傷。再用干凈細干棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表面
二、臭氧檢測儀顯示屏擦拭步驟：
先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡面表面，勿用力以免傷及鏡面，再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡面表面，并需等酒精揮發后，再裝回去，鏡面擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由于灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡面擦拭至為重要，裝置后需重新借著影像觀察擦拭結果。
三、臭氧檢測儀轉動部分擦拭步驟：
先用干細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表面，以擦拭其灰塵或油污等。
也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
必要時，可再用干凈細干棉布沾上工業用酒精或高級潤滑油，擦拭磨擦表面。
臭氧檢測儀主要用于醫藥科研、制藥生產車間、公司、環境監測、學校科研、樓宇建設、消防報警、污水處理、工業氣體過程控制石油石化、化工廠、冶煉廠、鋼鐵廠、煤炭廠、熱電廠、、鍋爐房、垃圾處理廠、隧道施工、輸油管道、加氣站、地下燃氣管道檢修、室內空氣質量檢測、危險場所安全防護設備監測等。
