超純水機中的TDS為溶解性總固體，也就是溶解于水中的固體的總量。如礦物質在水中的重量比數。水中的溶解固體主要是一些鈣和鎂，且不是可測得的污染物質。測量單位為 (parts per millions)或mg/L ,它表明1升水中溶有多少毫克溶解性總固體。
超純水機TDS概念是個舶來品，在美國、中國臺灣水處理領域廣泛使用。自來水一般大概有100200ppm （視乎溫度）、RO處理后的水能減至30 ppm或以下、蒸餾后的水只有1ppm或以下但人體所需的礦物質亦同時除去。總體來說RO系統的水是非常潔凈及適合人體吸收。
通俗的講：TDS值代表了水中溶解物雜質含量，TDS值越大，說明水中的雜質含量大，反之，雜質含量小。
超純水機TDS值的測量工具一般是用TDS筆，其測量原理實際上是通過測量水的電導率從而間接反映出TDS值。在物理意義上來說，水中溶解物越多，水的TDS值就越大，水的導電性也越好，其電導率值也越大。
超純水機TDS使用方法：打開TDS筆探針蓋，按下標有ON/OFF按鈕，待液晶屏顯示后，將TDS筆插入被測水中，待數值穩定后，按下標有HOLD按鈕，拿出TDS筆讀取數值方可，測試完畢后，用干紙將TDS筆探針擦拭干凈。
