手持式光譜儀的定量分析是以熒光X射線的強度為依據的，影響手持式光譜儀射線強度的因素會影響分析的準確度，以下是主要兩大影響因素
1、基體效應
基體效應包括吸收效應及增強效應吸收效應包括基體對入射X射線的吸收及對熒光X射線的吸收。因為用射線激發樣品時，不只是作用于樣品表面而且能穿透一定的厚度進入樣品內部，而且樣品內部分析元素產生的熒光X射線，也必須穿過一定厚度的樣品才能射出。在穿透過程中，這兩種X射線都會因基體元素的吸收而使射線強度減弱，射線減弱會影響對分析元素的激發效率。
如果入射X射線使基體元素激發所產生的熒光X射線的波長稍短于分析元素的吸收邊，它會使分析元素產生二次熒光X射線，從而使分析元素的熒光X射線強度增強，這就是基體的增強效應。
如果吸收效應占主導地位，則分析結果偏低，如果增強效應占主導地位，則分析結果偏高。
2、不均勻效應
不均勻效應是指樣品顆粒大小不均勻及樣品表面光潔度對熒光X射線強度的影響。對于粉末樣品，大顆粒吸收效應強，小顆粒吸收效應弱，因此，要求顆粒粒度盡量小一些，以減少對X射線的吸收。測短波X射線時，要求粒度在250目以上，測量波長大于0.2nm的長波x射線時，則粒度要求在400目以上。
固體塊狀試樣一定要磨平拋光，粉末試樣要壓實并使表面平滑。粗糙表面會使熒光X射線的強度明顯下降。測量短波X射線時，光潔度在1005m左右，測量長波X射線時，光潔度為20-50Mm.
