集成傳感器是利用集成電路工藝（鍍膜、掩膜、腐蝕等）將半導體敏感元件及測量處理電路集成在一個芯片上的傳感器。
半導體敏感元件是基于半導體材料和P-N結的物理效應將被測的非電量轉換成電量。例如，熱敏、光敏、磁敏、壓敏等效應。傳感器輸出歸一化的測量信號，由儀器完成采集、 處理等操作。若將儀器的采集、處理、控制與顯示等電路均集成在同一芯片上，則稱為集成儀器芯片。若將多個儀器及系統接口也集成在同一芯片上，則稱為集成測量系統芯片。
集成傳感器具有體積小、重量輕、高精度、高頻響，且可做到高可靠、長壽命、低功耗、 低成本，是一代新型傳感器。目前，已廣泛用于石油、化工、機械動力、氣象、地質、生物醫學及航空、航天、航海等領域。
