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1、掃描電鏡樣品的基本要求

一是導電性好，樣品在電子束反復掃描下表面電位不會升高，避免電荷效應；

其次，熱穩定性好，電子束溫度高，導熱性差的樣品在觀察過程中會漂移，一些熱敏材料會損壞圖像不穩定，觀察部位會起泡、開裂、空洞；

最后，二次電子和背散射電子產率高；

簡單的說

1）樣品的導電性

2）樣品的尺寸

3）樣品干凈干燥

4）固定粉末樣品

5）制備組織和夾雜物樣品

因DBSD樣品分析應傾斜70°等特性，EBSD樣品制備要求較高，表面平整、清潔，無殘余應力；當需要定位數據時，樣品外觀坐標系應準確，尺寸約為1-3CM或者稍微小一點。

2、樣品的制備

1）試樣的鑲嵌

鑲嵌時：

a)查看邊緣信息時

b)樣品太小或形狀不規則

鑲嵌類型分為以下兩種：

熱鑲嵌法:首先要保證熱或熱塑性溫度不會導致鑲嵌樣品組織發生變化。通常推薦熱鑲嵌。

冷鑲：環氧樹脂或丙烯酸樹脂

2）試樣的清潔

樣品被污染或SEM 污染會導致圖像質量差，因此清潔樣品非常重要。可用吸耳球吹或將樣品放入丙酮或酒精中，超聲波清洗至少10秒。

3）試樣的磨拋