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晶圓切割設備——晶圓 切割機的原理?

2023年01月06日 14:16:48      來源:上海雙旭電子有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:22

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晶圓切割設備——晶圓 切割機的原理?

芯片切割機是一種非常精密的設備。其主軸轉速約為 30,000 至 60,000 rpm。由于晶粒之間的距離很小,晶粒相當脆弱,精度要求相當高,必須使用金剛石刀片進行切割,切割方法是通過研磨將晶粒分離。由于切割方式為研磨,會產生大量的細小粉塵,因此切割過程中必須不斷用清水沖洗,以免污染晶粒。除了以上幾點,整個切割過程中還有很多需要注意的地方。例如,模具必須分開,但不能切割承受負載的膠帶。切割時,必須沿著模具與模具之間的切割線。蛇形,切割后不會造成晶粒的塌陷或裂紋等。 為了解決上述諸多問題,機器將采用各種自動檢測、自動調整和自動清潔設備,以減少因切割造成的損失。切割過程中的錯誤。

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