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2.4 壓阻傳感器的應(yīng)用
1.壓阻式壓力傳感器
壓力傳感器主要由三部分組成：感壓部分，直接承受被測(cè)應(yīng)力；轉(zhuǎn)換部分，
將待測(cè)應(yīng)力轉(zhuǎn) 換為電信號(hào);激勵(lì)部分，外加的激勵(lì)電源，在硅彈性膜片上,用半
導(dǎo)體器件制造技術(shù)在確定 晶向上制作相同的四個(gè)感壓電阻,將它們連接成惠斯登
電橋，接上外加電源，就構(gòu)成了基本 的壓力傳感器。
圖2 - 37所示為硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)圖，主要由外殼、硅膜片及引線(xiàn)等紺成，
其核心部分是一塊圓形膜片，在膜片上利用集成電路的成形工藝方法設(shè)置了四個(gè)
阻值相同的電阻,構(gòu)成平衡電橋的四個(gè)橋臂。膜片的四周用一圓環(huán)(硅環(huán))固定，如
圖2-38所示。膜片的 兩邊有兩個(gè)壓力腔：一個(gè)是和被測(cè)系統(tǒng)相連接的高壓腔；另
一個(gè)是低壓腔,通常與大氣相通。
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