| 文摘： tag:濕度傳感器 電阻型半導體氣敏元件的敏感部分是金屬氧化物半導體微結晶粒 子燒結體，它是由以 金屬氧化物為基體材料，添加不同物質在高 溫下繞結而成的,在燒結體的內部還裝有測定電 阻的電極。由于半 導體材料的特殊性質,氣體在半導體材料顆粒表面的吸附可導致材 料載子濃度發生相應的變化,從而改變半導體元件的電導率，氣敏 元件電阻值的變化是伴隨著金屬氧化物半導體表面對氣體的吸附 及釋放而發生的。為了加速這種反應,通常在氣敏元件中設置有加 熱器。加熱器一般為加熱絲結構，有的直接燒結在金屬氧化物燒 結體內,有 的則放在燒結體的外部。在氣敏元件的外部還裝有不銹 鋼絲網罩對元件進行保護。用半導 體氣敏元件組成的氣敏傳感器 主要用于工業上,如天然氣、煤氣、石油化工等部門的易燃、易 爆、 有毒、有害氣體的監測、預報和自動控制。 |
