氣路的檢查在故障的排除中往往十分有效，主要是檢查：
1氣源是否充足（一般要求氣瓶壓力必須≥3MPa,以防瓶底殘留物對氣路的污染）；
2閥件是否有堵塞、氣路是否有泄漏（采用分段憋壓試漏或用皂液試漏）；
3凈化器是否失效（看凈化器的顏色及色譜基流穩定情況）；
4閥件是否失效或堵塞（看壓力表及閥出口流量）；
5汽化室內襯管是否有樣品殘留物及隔墊和密封圈的顆粒物（看色譜基流穩定情況）；
6噴口是否堵塞（看點火是否正常）；
7對敏感化合物的分析，氣化室的襯管和石英玻璃毛還必須經過失活處理。
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