純水設備超純水系統變得越來越復雜和龐大，系統需要檢測執行的信號繁多，對超純水自動化系統的數據處置能力、平安性，可靠性的要求的提出了更高的要求，且需要及時地對系統的故障進行有效的預測、檢測、分離和修復。自來水被存儲到原水箱中，稱為原水。原水通過泵被抽入多介質過濾器中，原水從過濾器頂部進入，通過罐體內的過濾介質，通過底部總管排出，水中不溶于水的大顆粒，懸浮物將會被有效地內部填裝的過濾介質所攔截。同時，多介質過濾器在防止污染活性碳濾床的預防中發揮關鍵作用。
純水設備隨同著TFT-LCD制造工業的發展。六十年代，超純水的離子泄漏量要求為5ppb微克/升)七十年代中期已提高到1ppb進入八十年代后，這個目標已向0.1ppb邁進。九十年代，膜技術得到廣泛應用，微濾、超濾、電滲析和反滲透RO等*的水處置技術得到長足發展，RO-混床系統取代了保守的離子交換系統，滿足了諸如TFT-LCD等行業對純水質量要求，從而大大推動了純水技術的發展。
七八十年代，不管是離子交換法還是反滲透法的超純水處置，純水設備其控制系統主要采用DCSDistributedControlSyestem分散控制系統。DCS系統需要第三方儀表或控制系統按其專用協議與DCS通訊，開放性差。90年代后，隨著PLC控制功能增強，功耗和體積減小，利息下降，可靠性的提高，且其編程和故障檢測也更為靈活方便。而且隨著分布式I/O和現場總線通信網絡的發展，PLC數據處置能力的發展，使PLC成為工業生產自動化產業的一大支柱。超純水處置控制系統也逐漸從DCS控制系統過渡到采用PLC現場總線控制系統。
