數(shù)控機(jī)床維修常用診斷儀器（八）激光干涉儀
激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正。它與世界上其他激光干涉儀一樣，可按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位量精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有其他選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等，泊頭巨人重工機(jī)械有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)、立車、數(shù)控立車、數(shù)控龍門銑床、龍門加工中心、數(shù)控落地鏜銑床的生產(chǎn)廠家，對(duì)激光干涉儀的選擇和應(yīng)用也有一定的心得。這里以雷尼紹(RENISHAW)公司激光干涉儀為例，介紹其功能：
①自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償。激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)通信，對(duì)誤差進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償，它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，同時(shí)可限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到精度。
②回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定。回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對(duì)數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)在任意角度位置，以任意測(cè)量間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量及補(bǔ)償，其精度可達(dá)±1”。
③機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)試與評(píng)估。利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析(FFT)，滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等等，從而幫助用戶對(duì)機(jī)器故障源進(jìn)行分析。
④觸發(fā)脈沖輸入輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實(shí)現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實(shí)現(xiàn)類似于激光絲杠動(dòng)態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動(dòng)鏈精度檢查功能。
利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時(shí)或定距發(fā)出脈沖，從而實(shí)現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。
⑤可選AB正交信號(hào)輸出。AB正交信號(hào)是標(biāo)準(zhǔn)光柵信號(hào)，由于RENISHAW激光干涉儀能輸出該信號(hào)，因而可將該激光干涉儀作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)用于其他場(chǎng)合，如動(dòng)態(tài)光刻等。
⑥雙驅(qū)動(dòng)同步校準(zhǔn)系統(tǒng)。在某些機(jī)器中，某一軸線運(yùn)動(dòng)由雙驅(qū)動(dòng)和雙反饋系統(tǒng)控制（如龍門銑床和大型龍門移動(dòng)的機(jī)器等），在這種情況下，雷尼紹雙軸校準(zhǔn)軟件可在一臺(tái)計(jì)算機(jī)上連接并控制兩個(gè)接口卡，提供了同步自動(dòng)采集兩平行軸數(shù)據(jù)的能力。
⑦其他用戶接口裝置。可用雷尼紹公司提供的特殊接口軟件，對(duì)于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合雷尼紹激光干涉儀校準(zhǔn)軟件，實(shí)現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的榆測(cè)。
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