plasma處理系統SAT-5D
技術特點：
1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。
2.儀器實現了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗
3.儀器實現了程序化設計，預先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗
4.無需任何耗材使用成本低，無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可
5.電容式等離子激發，處理效果均勻，激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛
6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染
7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配，穩定可靠，具有自動保護功能。
8.靈活的參數設置和修改功能，可適應多種處理工藝。
9.采用皮拉尼真空技術，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現對氣體流量和真空度的控制和監測。
10. 液晶屏+薄膜數字按鍵控制方式，操作直觀簡單穩定可靠。
plasma處理系統SAT-5D
技術規格參數
| 型號：SAT-5D |
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| 不銹鋼/石英艙體 | Φ150 mm×L255mm 可以選配石英轉鼓用來處理微顆粒以及粉末 |
| 工作氣路 | 兩路，可以選配MFC控制 |
| 射頻頻率 | 13.56MHz |
| 射頻功率 | 0-150W，可調，掃頻自動匹配 |
| 控制系統 | 液晶屏+薄膜數字按鍵，實時顯示和檢測艙內真空度值 |
| 時間范圍 | 0—99分59秒連續可調 |
| 工作壓力 | 樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節 |
| 工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
| 進氣壓力 | 空氣：常壓 連接氣體鋼瓶：0.1-0.3Mpa |
| 工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
| 真空泵 | 抽速：1升到5升每秒 |
| 輸入電源 | ~220V／50Hz |
| 整機尺寸（D*W*H） | 552X590X295mm |
| 重量（約） | 28Kg |
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